飞秒激光双光子聚合3D微纳加工系统(进口) 招标项目的潜在投标人应在沈阳市和平区三好街54号物产大厦2028室获取招标文件,并于2021年09月28日 09点30分(北京时间)前递交投标文件。

1.真正微纳米尺度三维立体器件制作工艺。二维横向线纳米以下,二维横向分辨率可达500纳米以下;三维横向线纳米以下,三维横向分辨率可达800纳米以下;三维Z轴方向分辨率可达一微米以下;

2.设备必须具有自动侦测光刻胶和界面的功能。如果光刻胶和界面的折射率区别较大的话,在使用高数值孔径的物镜的条件下,能找到的界面的精度需要达到150nm;

3.能够对衬底的倾斜进行自动检测并相应的进行坐标转换以维持所设计器件不失线.能够根据工件台的移动情况实时对激光能量调制,以维持恒定的线.设备必须能够自动调节运动速度,特别是在转弯的时候,以达到维持样品加工速度的同时达到很高的保线

3.本项目的特定资格要求:1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;2.落实政府采购政策需满足的资格要求:无3.本项目的特定资格要求:1)进口产品代理商须提供货物制造商的授权及售后服务承诺书。

方式:供应商在上述期间内,将下列报名信息发送至y:供应商单位名称、联系人、电话、所报项目名称、开具发票信息,并附采购文件费用电汇截图(收款单位:依诚招标有限公司;开户银行:上海浦东发展银行股份有限公司沈阳同泽支行;账号:7105 0154 7400 10939),无需提交其他报名材料。

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